2、儀器規(guī)格參數(shù)

2.1.1 金屬臺尺寸：600×600mm

2.1.2 玻璃臺尺寸：400×400mm

2.1.3 外形尺寸：770×590×1100mm

2.1.4 運動行程：300×300mm

2.1.5 儀器重量：200Kg

2.1.6 攝像機：日本SONY CCD

2.1.7 X、Y、Z數(shù)顯解析度：0.001mm

2.1.8 X、Y坐標示值誤差：≤(3+L/200)μm
 

3、儀器電源

3.1 使用電源：AC100V/220V

3.2 消耗功率：<100W（不包括電腦）

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